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01
光刻胶
前驱体
配方化学品
特殊气体
01
光刻胶
光刻胶的应用领域包括集成电路(IC)、半导体分立器件、液晶显示器(LCD)及触摸平板、先进封装、发光二极管(LED)、MEMS 等的细微图形加工。按照产品的功能,本司的光刻相关材料产品分为非感光光刻胶、感光光刻胶、聚酰亚胺、清洗液和稀释剂等。
前驱体
前驱体是半导体薄膜沉积工艺的主要原材料,广泛应用于半导体生产制造工艺,携有目标元素,呈气态或易挥发液态,具备化学热稳定性,同时具备相应的反应活性或物理性能的一类物质。本公司的前驱体产品可以用于前后端物理沉积PVD、化学气相沉积CVD及原子气相沉积ALD,以形成符合半导体制造要求的各类薄膜层。
配方化学品
半导体化学品是为生产半导体元件配套的精细化工材料,具有品种多、质量高 、用量小、纯度要求苛刻等特点,其成本只占到终端产品成本的10%-20%左右 ,但其品质对电子产品的性能影响巨大。
特殊气体
半导体制造过程中的特种气体主要有各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体以及其他广为各种制程设备所使用的惰性气体等。
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